一、無塵室系統(tǒng)施工流程
1、新風(fēng)經(jīng)過濾后與回風(fēng)混合，進入風(fēng)冷空調(diào)機，通過中效過濾器，經(jīng)末端低阻力過濾器后將符合溫濕度、潔凈度要求的空氣送入無塵室。
2、氣流組織
（1）萬級間全部采用上送兩側(cè)回風(fēng)，車間內(nèi)利用柱位、側(cè)墻做技術(shù)夾層回風(fēng)道，接回風(fēng)管道至空氣處理機組。空氣經(jīng)粗、中、高三級過濾器和溫濕度處理后送入凈房。
（2）新風(fēng)系統(tǒng)進行粗、中二級過濾，以確保空氣的含塵濃度較低，減少外部塵源影響，提高無塵室的凈化效果，并大大延長過濾器的使用壽命，減少運行維護費用。
（3）新風(fēng)量根據(jù)人員衛(wèi)生新風(fēng)要求(每人新風(fēng)量＞35m3/h)，并保證無塵室內(nèi)正壓的要求經(jīng)計算確定。(人員在20人以內(nèi))
二、無塵室施工
（1）天花：潔凈區(qū)及生區(qū)域用雙層保溫（PU）彩鋼板，無塵明亮，色用灰白，厚50mm。符合電子廠房潔凈防靜電要求。
（2）間隔：潔凈區(qū)及生區(qū)用雙面彩鋼保溫（PU）板圍護及間隔。潔凈車間內(nèi)間隔與地面及無花交角做元弧及陰角接口，防積塵及易于衛(wèi)生清潔。
（3）密閉門：單扇門：900*2000，上做玻璃觀察窗（同間隔墻平窗尺寸）,裝通道鎖，門及門框采用不湫鋼制作。
（4）地面：防靜電規(guī)范
A.潔凈區(qū)水泥地面經(jīng)處理后做3mm防靜電環(huán)氧地坪。符合歐洲EN548標準和要求。防火性能符合：DIN4102-1。B1級：抗燃燒性符合ISO06923，難燃；抗靜電性＜+/-100V。抗化學(xué)性能符合EM423；耐稀酸、油脂、及乙醇、丙酮、石漬溶劑等。具有不吸塵、不吸灰的特性。
（5）柱子：潔凈區(qū)柱子用彩鋼板全包邊，并作?回風(fēng)技術(shù)夾層。
（6）風(fēng)淋室：按規(guī)范要求，無塵室的風(fēng)淋室設(shè)計雙人的2個。
三、無塵室照明、配電
無塵室（1萬級）用明裝凈室?guī)д址缐m燈402。工作區(qū)照度＞250Lux，走道照度＞100Lux,有精細加工操作區(qū)域可采用局部照明。布線按國家規(guī)范執(zhí)行，用穿線鋼管暗敷，符合防火及用電規(guī)范。所有管線穿過潔凈區(qū)域均做好密封，線管線槽的內(nèi)孔（內(nèi)槽）應(yīng)全密封。進入凈房的氣管、水管也須做密封，能設(shè)置在頂棚上走的管道，設(shè)置在頂棚上。使車間整潔干凈。照明、配電按國家有關(guān)規(guī)范及甲方要求，設(shè)計及制作，滿足生及管理對設(shè)備運行及控制的要求。